Abbildende Methoden

Dient zur Darstellung der zu analysierenden Proben mit bis zu 100.000-facher Vergrößerung

Folgende Detektoren werden bei der bildgebenden Analyse verwendet:

SE - Dektoren

Sekundär Elektronen (SE) sind niederenergetische Elektronen, die durch den Elektronenstrahl ausgelöst werden. Diese werden durch eine Saugspannung in Richtung des Detektors beschleunigt und erzeugen dort eine ihrer Menge entsprechende Anzahl von Impulsen. Damit ist eine höhere Tiefenschärfe und eine höhere Auflösung möglich als bei Lichtmikroskopen.

BSE - Dektoren

Backscattered Electrons (BSE) sind Elektronen, die von der Oberfläche abhängig von der mittleren Ordnungszahl (Z) des Materials zurückstreut werden. Schwere Elemente sorgen für eine starke Rückstreuung, sodass entsprechende Bereiche hell erscheinen. Leichtere Elemente neigen eher dazu, Elektronen zu absorbieren und erscheinen daher dunkler. Das BSE-Bild wird deshalb auch als Materialkontrastbild (Z-Kontrast) bezeichnet und ermöglicht Rückschlüsse auf die chemische Verteilung der Materialen in der Probe. Des Weiteren kann der 2-geteilte BSE-Detektor im Subtraktionsmodus betrieben werden. Dadurch entsteht ein Topographiekontrast, wobei tiefliegende Bereiche des Objekts dunkel erscheinen.

Technische Ausstattung

Philips XL 30 TMP

Digitales Hochleistungs-Rasterelektronenmikroskop mit Wolframkathode

Vergrößerunge

5x - 400.000x

Auflösung

3,5 nm bei 30kV
25 nm bei 1 KV

Strahlstrom

0,4 pA – 4µA max

Detektoren

SE-Detektor
BSE-Detektor (klassischer Rückstreu- als auch Topographischer -modus)
EDAX - EDX-Detektor

Fünf-Achsen-motorisierter Probentisch

Probentisch Bewegungen
Rotation
Kippung
bei großen Proben
maximale Probenhöhe
Probenkammer

X = 50 mm; Y = 50 mm
360°
-15° bis +75°
0° bis 45°
50 mm
284 mm Durchmesser

Vakuumarbeitsbereich

Hochvakuum < 5x10-6 mbar

Anwendungsbeispiele

unterschiedliche Kristallphasen (hell/dunkel) in einem Glas

Z-Kontrast von verschiedenen Phasen im Lot

Vermessung einer Goldschicht

elektrolytisch abgeschiedenes Kupfer

Carbon Nanotubes (CNTs) auf einer Filterpapierfaser [Fa. C-Polymers GmbH]

CNT - PTFE- Compound [Fa. C-Polymers GmbH]

Z-Kontrast von Glaskugeln in einem PA-Kunststoff

Z-Kontrast von Glasfasern in einem PA-Kunststoff