Chemische Elementanalyse
mittels Energiedispersiver Röntgenanalyse (EDX)
Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX)
Qualitative chemische Charakterisierung kann im Rasterelektronenmikroskop (SEM) mittels Energiedispersiver Röntgenanalyse (EDX) zerstörungsfrei durchgeführt werden. Man regt die Atome in der Probe durch den Elektronenstrahl mit einheitlicher Energie an und sie senden instantan Röntgenstrahlung einer für das jeweilige Element spezifischen Energien aus, die charakteristische Röntgenstrahlung. Diese Strahlung gibt Aufschluss über die Elementzusammensetzung der Probe. Mit dieser Analysemethode können chemische Elemente ab der Ordnungszahl 6 (Kohlenstoff) bestimmt werden.
EDX Mapping (Elementverteilungsbilder)
EDX Mapping liefert zum herkömmlichen Sem Bild ein aussagekräftiges Bild der Elementverteilung einer Oberfläche. Die Messzeiten sind jedoch für eine zufriedenstellende Bildauflösung und Rauschverhalten im Bereich von 30 min bis zu 12h, weil von jedem Bildpunkt ein vollständiges EDX-Spektrum angefertigt wird.
 SEM Bild |
 >Kohlenstoff |
 Kalium |
 Natrium |
 Stickstoff |
 Schwefel |
 Zirkonium |
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